この図は参考に供する、出荷規格の詳細は寸法図面を参照する.
The picture is just for the reference.Please check the actual dimensions on the drawing.
パラメータ設定
Parameter configuration
持続推力/Continuoustrust |
46N |
ピーク推力/Peakthrust |
151N |
持続電流/ContinuousCurrent |
3.0Arms |
ピーク電流/PeakCurrent |
12.0Arms |
ガイドレール/Guide |
THK(日本) |
フィードバック/Feedback |
解像度:0.1 um/0.5 um/1 umラスタ/マグネットオプション |
精度/Accessories |
磁気グリッド:繰り返し精度:+5 um、位置決め精度(補償後):+10 um |
ラスター:繰り返し精度:+2 um、位置決め精度(補償後):+3 um | |
直線度/Straightness |
土10 um/500 mm |
ストローク(mm)/ 負荷(kg) |
100 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
1500 |
2000 |
4000 |
最大速度(m/s) | ||||||||
5 |
0.5 |
0.7 |
0.9 |
1.1 |
1.2 |
1.5 |
1.7 |
2.4 |
10 |
0.25 |
0.38 |
0.5 |
0.6 |
0.7 |
0.8 |
0.9 |
1.3 |
メモ:最大速度データは実際に両端にそれぞれ0.2秒滞在し、加速度10 m/s 2を前提としたテスト結果。
外形、取付寸法及び重量
Dimensions,installationg guide and weight of the stage
ストローク/March プロジェクト/Project |
120 |
180 |
240 |
300 |
360 |
420 |
480 |
540 |
600 |
660 |
穴の数(N) Numberofmountinghole |
1 |
3 |
3 |
5 |
5 |
5 |
5 |
7 |
||
全長 Overalllength |
564 |
624 |
684 |
744 |
804 |
864 |
924 |
984 |
1044 |
1104 |
標準モジュール重量(KG) Standardmodulevekht(KG) |
13.9 |
14.5 |
15.1 |
15.7 |
16.3 |
16.9 |
17.5; |
18.1 |
18.7 |
19.3 |
運動体重量(KG) Weightofmovingbody(KG) |
2.4 |
|||||||||
カスタムモジュール最大ストローク(mm) GustommoduleMaxstroke |
4200 |
|||||||||
ストローク/March プロジェクト/Project |
720 |
780 |
840 |
900 |
960 |
1020 |
1080 |
1140 |
1200 |
1260 |
穴の数(N) Numberofmountinghole |
7 |
7 |
7 |
9 |
9 |
9 |
11 |
11 |
11 |
|
全長 Overalllength |
1164 |
1224 |
1284 |
1344 |
1404 |
1464 |
1524 |
1584 |
1644 |
1704 |
標準モジュール重量(KG) Standardmodulevekht(KG) |
19.9 |
20.5 |
21.1, |
21.7 |
22.3 |
22.9 |
23.5 |
24.1 |
24.7 |
25.3 |
運動体重量(KG) Weightofmovingbody(KG) |
2.4 |
|||||||||
カスタムモジュール最大ストローク(mm) GustommoduleMaxstroke |
4200 |
メモ:モジュール長はお客様の要件に合わせてカスタマイズできます